终止公告

招标编号：ZKX20250915A001

项目名称：12英寸激光直写光刻机

招 标 人：中国科学院上海技术物理研究所

招标代理机构：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

终止原因：12英寸激光直写光刻机因技术方案变更，故本项目予以终止。

中科信工程咨询（北京）有限责任公司

2025年5月12日