中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备采购招标项目
招标公告
1. 招标条件
本招标项目中核北方核燃料元件有限公司磁控溅射炉设备采购招标项目（招标编号：0651-18090222）招标人为中核北方核燃料元件有限公司，招标项目资金来自中央预算内投资，出资比例为100%。该项目已具备招标条件，现对磁控溅射炉采购进行公开招标。
2. 项目概况与招标范围
2.1 设备名称：磁控溅射炉。
2.2采购数量：1台。
2.3 设备用途：可实现在锥形内空工件（约Φ125*Η110mm）内外表面、圆柱形(Φ30*H800mm)外表面及粉体颗粒（D0.1～0.5mm）外表面溅射镀制单层膜和多层复合膜，可以镀制各种金属、合金等薄膜材料，至少包括Al\Ag\Cr\Ni\Cu\/Zn金属材料。
2.4 技术规格：
| 序号 |
项 目 |
技术参数 |
备注 |
| 1 |
溅射室规格 |
Φ1300mm×H1100mm |
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| 2 |
工件台旋转 |
公转、自转+公转、定点自转、1-25rpm，连续可调 |
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| 3 |
溅射靶规格 |
随机携带Ф80（4个，靶材材料分别为Al\Ni\Cu\/Zn） 另外配备Ф80mm（4个，靶材材料沟通后确定） |
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| 4 |
溅射材料 |
至少包括Al\Ag\Cr\Ni\Cu\/Zn金属材料 |
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| 5 |
磁控靶动态运动 |
三维运动（水平X-垂直Z-角度Ф） |
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| 6 |
样品加热 |
最高加热温度400℃，PID自动测温、控温，多段控温模式，控温精度±1% |
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| 7 |
样品装载量 |
Φ30mm*L800mm棒状工件，最大装载：8件/炉；Φ125mm*H110mm锥形工件，最大装载：8件/炉； Φ100-500µm类球型颗粒大于100g |
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| 8 |
溅射不均匀性 |
±10%～±15%（按异形样品形状确定） |
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| 9 |
溅射速率 |
与材料与工艺相关 |
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| 10 |
真空室 |
不锈钢单真空室，上升盖形式，带有前开舱门 |
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| 11 |
极限真空 |
优于6.7×10-5 Pa（室温、环境湿度≤55%） |
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| 12 |
真空室漏气率 |
≤5.0×10-7 Pa·L/s |
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| 13 |
抽气速率 |
系统短时间暴露大气并充干燥N2开始抽气，溅射室30分钟可达到9.0×10-4 Pa |
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| 14 |
真空室保压 |
系统停泵关机12小时后真空度：≤5Pa |
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| 15 |
可镀膜层厚度 |
满足均匀性和结合力要求的膜层厚度可达10μm |
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| 16 |
装卡工序 |
柱形件与锥形件在镀膜的过程中装恰次数不超过2次，且保证重新装恰操作对膜层质量无影响 |
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| 17 |
复合镀膜 |
至少能溅射Al\Ag\Cr\Ni\Cu\/Zn单种金属膜、共溅射其中任意二元或多元合金膜 |
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2.5 交货地点：中核北方核燃料元件有限公司
*2.6交货期：合同签订后5个月。
3. 投标人资格要求
3.1在中华人民共和国境内注册的独立法人，具有合法有效的营业执照。
3.2投标人必须是投标设备的制造商，并独立于招标人和招标机构，需具备完善、有效的质量保证体系，具有质量保证管理体系认证证书。
3.3投标人近三年来应具有同类或类似投标设备供应和服务的业绩，并提供相应的业绩证明材料（签订日期在2015年1月1日后的同类或类似投标设备供应及服务合同的复印件，至少应包括合同首页、供货范围页及签字页）。
3.4 本项目不接受联合体投标。
3.5法律、行政法规规定的其他条件。
4. 招标文件的获取
4.1凡有意参加投标者，需在中国核工业集团公司电子商务平台（http://ecp.cnnc.com.cn/）完成免费注册和报名。完成注册和报名后，请于2018年3月2日至2018年 3月7日，每日上午8:30至12:00，下午2:30至5:00（北京时间，下同），携带以下资料到内蒙古呼和浩特市如意开发区腾飞路1号众生大厦7层购买招标文件，或将以下资料加盖公章的扫描件发送到591367179@qq.com（邮件注明所报项目名称、招标编号、投标人名称、联系人、联系方式等）。
（1）具有合法有效的营业执照。
（2）具有质量保证管理体系认证证书。
（3）具有同类或类似投标设备供应和服务的业绩，并提供相应的业绩证明材料（签订日期在2015年1月1日后的同类或类似投标设备供应及服务合同的复印件，至少应包括合同首页、供货范围页及签字页）。
4.2 招标文件每套售价 1000 元，售后不退。
4.3 投标人报名截止时间：2018 年3 月 7日下午5：00，截止时间之后不再接受投标人报名。
4.4 未购买招标文件的投标人不得参与本项目投标。
5. 投标文件的递交
5.1 投标文件递交的截止时间（投标截止时间，下同）为2018 年3月23日 9 时0分，地点为 中核北方核燃料元件公司AP1000办公楼五楼会议室 。
5.2 逾期送达或者不按招标文件要求密封的投标文件，招标人将予以拒收。
6. 发布公告的媒介
本次招标公告在中国招标投标公共服务平台、内蒙古招标投标公共服务平台和中国核工业集团公司电子商务平台上同时发布。
7. 联系方式
| 招 标 人：中核北方核燃料元件有限公司 |
招标代理机构：内蒙古招标有限责任公司 |
| 地 址：内蒙古包头市青山区乌素图 |
地 址：内蒙古呼和浩特市如意开发区腾飞路1号众生大厦7层 |
| 邮 编：014035 |
邮 编：010010 |
| 联 系 人：王飒 |
联 系 人：李娜、潘诚 |
| 电 话：0472-3139779 |
电 话：18047292752 |
| 传 真：0472-3139203 |
传 真：0471-3307221 |
| 电子邮件：wangsa1981@163.com |
电子邮件：591367179@qq.com |
| 网 址：www.cnnfc202.com |
网 址：www.nmgzb.com |
| 开户银行：工行建华支行 |
开户银行：工行呼和浩特新城东街支行 |
| 账 号：0603023009022110166 |
账 号：0602002519200096673 |
2018年3月2日
