激光划片机项目已具备招标条件。中科信工程咨询（北京）有限责任公司（招标代理机构）受中国电子科技集团公司第二十六研究所（招标人）的委托，对该项目进行国内公开招标。

1. 招标概况与招标范围

1.1 项目名称：激光划片机

1.2 招标编号：ZKX20170404A004

1.3 主要技术参数

1.3.1采用花岗岩平台，载台表面（200mm）平面度＜5um；

1.3.2平台X轴（切割轴）采用绝对式光栅尺，分辨率≤0.01um/count；

1.3.3 激光器采用进口皮秒DPSS固体激光器，波长：1064nm；

1.3.4激光焦点聚焦于材料内部，表面不能有灼伤痕迹，每次切割深度和功率可单独设置；断面观察时，炸点连续，且每条炸点线清晰无交叠扭曲；

1.3.5在线测量晶圆厚度、快速定位加工焦点，并具备焦点跟随功能；

1.3.6可编辑设定划切路径，具备路径自动纠偏功能；电子非接触测高；

1.3.7具备设备监控和数据采集接口，设备提供信号塔的控制电路图，MES系统能对设备状态进行实时监控，设备提供工艺过程中数据文件，MES系统能够识别，从而能采集设备输出的数据；

1.3.8最大加工尺寸：8寸；

1.3.9划槽深度大于0.4mm；

1.3.10功率：10w；

1.3.11划槽（切割道）宽度：40-50um，切割崩边小于10um，具备崩边测量功能；

1.3.12具备手动划片功能，可编辑设定划切路径，预留自动上下料机构接口，可实现正/背面切割，具备切割键合片（厚度0.7mm）的功能；

1.4 数量：1台。

1.5 交货期：合同生效后90天。

1.6交货地点：中国电子科技集团公司第26研究所所区。

2. 投标人资格要求

2.1投标人须在中华人民共和国境内依法注册，具有独立法人资格，提供企业法人营业执照或事业单位法人加盖投标单位公章的证书复印件。

2.2 投标机型或同系列机型在国内有用户。须提供设备采购合同（所供产品须为此次投标产品制造厂商出品）和验收证明并提供用户单位联系人、电话，以上佐证材料均需加盖投标单位公章。

2.3本次招标接受代理商投标,代理商必须获得制造商的合法授权，提供制造商授权书。

2.4 本项目不接受联合体投标。

2.5投标人必须向招标代理机构购买招标文件并进行登记才具有投标资格；接受委托参与项目前期咨询和招标文件编制的法人或其他组织不得参加投标。

3. 招标文件获取

3.1 凡有意参加投标者，请于2017年9月30日至2017年10月13日17时(北京时间，下同)，登陆中招联合招标采购平台（http://www.365trade.com.cn/）下载电子招标文件。下载者请务必至少在文件发售截止时间半个工作日前登录平台完成购买操作，否则将无法保证获取电子招标文件。

3.2 招标文件每套售价800元，平台下载费50元，售后不退。

3.3下载者登陆平台前，须前往中招联合招标采购平台:http://www.365trade.com.cn/免费注册（平台仅对供应商注册信息与其提供的附件信息进行一致性检查）；注册为一次性工作，以后若有需要只需变更及完善相关信息；注册成功后，可以及时参与平台上所有发布的招标项目。

3.4 下载者选择“需要邮购纸质标书”的，需支付邮购费，招标代理机构将在文件下载后的1个工作日内寄送。

3.5下载者需要发票的，须通过平台填写“开票申请”；招标文件费用及邮购费发票由招标代理机构出具；平台下载费发票由平台公司出具，联系平台公司领取。

3.6 平台公司咨询电话为：4000928199；平台将确保下载者的购买信息在开标前对平台公司有关工作人员保密；如下载者主动与平台公司工作人员联系咨询事宜，则视为下载者主动放弃信息保密的权利，平台公司将不承担任何责任。

4. 投标文件的递交

4.1 投标文件递交的截止时间为2017年10月24日9时30分，投标文件递交地点为重庆市南坪花园路14号综合楼会议室。

4.2 逾期送达的或者未送达指定地点的投标文件，招标人不予受理。

5. 开标

开标时间同投标文件递交的截止时间，开标地点同投标文件递交地点。

6.联系方式

招标人名称：中国电子科技集团公司第二十六研究所

详细地址：重庆南坪花园路14号

联系人：吴女士

电话：023-65860325

传真：023-65610000

招标代理机构名称：中科信工程咨询（北京）有限责任公司

地址：北京市海淀区金沟河路与采石北路十字路口东南角88号大楼六层

售卖联系人：刘女士

电话：010-88529059

传真：010-88529153

2017年9月30日