干法刻蚀机设备采购（第二次）招标公告

（项目编号：0617-26A1HY1698）

 

项目所在地区：陕西省

一、招标条件

干法刻蚀机设备采购（第二次）已由项目审批/核准/备案机关批准，项目资金来源为自筹资金，招标人为西安卫光科技有限公司。本项目已具备招标条件，现招标方式为公开招标。

二、项目概况与招标范围

规模：本项目招标内容为干法刻蚀机设备采购，用于6英寸刻蚀工艺，可兼顾硅片与SiC同时作业。具体内容详见招标文件“第五章 技术标准和要求”。

范围：本招标项目划分为1个标段，本次招标为其中的：

（001）干法刻蚀机设备采购（第二次）；

三、投标人资格要求

（001 干法刻蚀机设备采购（第二次））的投标人资格和能力要求：

1.资质要求：投标人为在中华人民共和国境内依法注册、具备依法承担民事责任能力的法人或其他组织，提供有效的营业执照或其他依法注册证明（另需提供设备来源的合法证明，包括但不限于原始采购合同、报关单等能够证明设备合法来源的文件，并承诺所供设备不存在权属争议）；

2.业绩要求：投标人须提供投标产品制造商2023年1月1日起至今在中国大陆地区正常使用的同类产品（同类产品指用于6英寸及以上半导体晶圆刻蚀工艺的干法刻蚀机）供货业绩至少1份（业绩证明文件须提供合同复印件，合同须至少包含合同首页、供货范围页、签字盖章页，同时体现签订日期）；

3.信誉要求：提供“中国执行信息公开网”网站（http：//zxgk.court.gov.cn/shixin/）未被列入失信被执行人名单查询截图和“信用中国”网站（https：//www.creditchina.gov.cn/）未被列入重大税收违法失信主体名单查询截图（若不全将以评审小组最终网上查询结果为准）；

4.其他要求：单位负责人为同一人或者存在控股、管理关系的不同单位，不得同时参加本项目投标；

本项目不接受联合体投标。

四、招标文件的获取

获取时间：从2026年07月16日08时30分到2026年07月21日17时00分

获取方式：凡有意参加投标者，请于招标文件获取时间内登录中招联合招标采购平台(网址：www.365trade.com.cn)参与报名。投标人首次登录平台前，须先前往平台免费注册(投标人须充分考虑平台注册、审核、资料上传、费用支付等事宜所需时间，确保在招标文件发售截止时间前成功注册、领取、下载招标文件)，招标文件每套售价800元，中招联合招标采购平台服务费200元/标段，售后不退，(在平台操作过程中如有疑问，可联系中招联合招标采购平台客服电话(400-903-3175)获取帮助。

五、投标文件的递交

递交截止时间：2026年08月06日09时30分

递交方式：陕西省西安市南二环西段58号成长大厦10层会议室纸质文件递交

六、开标时间及地点

开标时间：2026年08月06日09时30分

开标地点：陕西省西安市南二环西段58号成长大厦10层会议室

七、其他

本次招标公告在《陕西采购与招标网》发布。

八、监督部门

本招标项目的监督部门为西安卫光科技有限公司纪委办公室、审计法务部。

九、联系方式

招标人：西安卫光科技有限公司

地址：陕西省西安市雁塔区电子二路61号

联系人：张跃

电话：029-88222778

电子邮件：/

 

招标代理机构：西北（陕西）国际招标有限公司

地址：西安市南二环西段58号成长大厦10-14层

联系人：韩敏

电话：029-85213951

电子邮箱：xbgj91@163.com

 

招标人或其招标代理机构主要负责人（项目负责人）：            （签名）

 

招标人或其招标代理机构：               （盖章）